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技術資料PVDWikipedia

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PVD的系統(tǒng)構成

時間:2021-11-09 16:28 閱讀:1557 來源:互聯(lián)網(wǎng)

沉積源

控制系統(tǒng)

真空系統(tǒng)

裝載系統(tǒng)

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